俄歇电子能谱

俄歇电子能谱分析（AES）是一种基于俄歇效应的高灵敏度表面分析技术，通过检测特征俄歇电子能量实现元素定性与定量分析。本文系统解析AES基本原理、技术优势、深度剖析及微区分析等核心表面分析应用场景，助力材料研发与产品失效排查，为工程提供权威参考。